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白光干涉仪和激光干涉仪有何区别?

激光干涉仪和白光干涉仪虽然都同属于干涉仪这个大类,但是两者的区别可大了!下面鼎晶仪器带大家来看看两者到底有什么区别。

 

激光干涉仪

激光干涉仪测量利用的是迈克尔逊干涉原理:

(1) 从SJ6000激光干涉仪主机出射的激光束(圆偏振光)通过分光镜后,将分成两束激光(线偏振光);

 图片1.png

(2) 两束激光分别经由角锥反射镜A和角锥反射镜B反射后平行于出射光(红色线条)返回,通过分光镜后进行叠加,由于两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定,即满足干涉条件;

 

(3) 角锥反射镜B每移动半个激光波长的距离,将会产生一次完整的明暗干涉现象。测量距离等于干涉条纹数乘以激光半波长。

 

根据激光干涉仪的原理,我们可以清楚知道,激光干涉仪是用来检测设备的运动精度的,激光干涉仪目前在机床、直线电机、滑台、模组、自动化设备、机器人等领域应用。

 

白光干涉仪

白光干涉仪以白光干涉技术为原理,光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光最终汇聚并发生干涉,显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

 

白光干涉仪是用来测量三维微观形貌的。白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。


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